Electrical Activity of B and As Segregated at the Si-SiO2...

MRS Proceedings 2002 / 1 Vol. 717

Electrical Activity of B and As Segregated at the Si-SiO2 Interface

Frühauf, Jens, Lindsay, Richard, Bergmaier, Andreas, Vandervorst, Wilfried, Tempel, Georg, Maex, Karen, Dollinger, Günther, Koch, Fredericks
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Volume:
717
Langue:
english
Journal:
MRS Proceedings
DOI:
10.1557/proc-717-c3.4
Date:
January, 2002
Fichier:
PDF, 74 KB
english, 2002
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