OPTICAL EMISSION SPECTROSCOPY OF GERMANE PLASMA PRODUCED IN...

MRS Proceedings 2001 / 1 Vol. 664

OPTICAL EMISSION SPECTROSCOPY OF GERMANE PLASMA PRODUCED IN AN ECR REACTOR

deFreese, Matt, Dalal, Vikram L., Falter, Julie
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Volume:
664
Langue:
english
Journal:
MRS Proceedings
DOI:
10.1557/proc-664-a5.2
Date:
January, 2001
Fichier:
PDF, 120 KB
english, 2001
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