Optimal Design of Reactors for Metalorganic Vapor Phase...

MRS Proceedings 2000 / 1 Vol. 616

Optimal Design of Reactors for Metalorganic Vapor Phase Epitaxy of Group III Nitrides

Pawlowski, R. P., Theodoropoulos, C., Mountziaris, T.J., Moffat, H.K., Han, J., Thrush, E. J.

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Volume:

616

Langue:

english

Journal:

MRS Proceedings

DOI:

10.1557/proc-616-159

Date:

January, 2000

Fichier:

PDF, 1.34 MB

english, 2000

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