A Detailed Study of Void Motion In Passivated Aluminum...

MRS Proceedings 1999 / 1 Vol. 563

A Detailed Study of Void Motion In Passivated Aluminum Interconnects

Doan, Jonathan C., Bravman, John C., Flinn, Paul A., Marieb, Thomas N.

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Volume:

563

Langue:

english

Journal:

MRS Proceedings

DOI:

10.1557/proc-563-103

Date:

January, 1999

Fichier:

PDF, 1.58 MB

english, 1999

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