Chemical Vapor Deposition Technology of (Ba,Sr)TiO3 Thin...

MRS Proceedings 1998 / 1 Vol. 541

Chemical Vapor Deposition Technology of (Ba,Sr)TiO3 Thin Films for Gbit-Scale Dynamic Random Access Memories

Horikawa, Tsuyoshi, Tarutani, Masayoshi, Kawahara, Takaaki, Yamamuka, Mikio, Hirano, Noriko, Sato, Takehiko, Matsuno, Shigeru, Shibano, Teruo, Uchikawa, Fusaoki, Ono, Kouichi, Oomori, Tatsuo
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Volume:
541
Langue:
english
Journal:
MRS Proceedings
DOI:
10.1557/proc-541-3
Date:
January, 1998
Fichier:
PDF, 1.86 MB
english, 1998
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