Role of RF Power and Gas Mixture in Some Optical and...

MRS Proceedings 1998 / 1 Vol. 508

Role of RF Power and Gas Mixture in Some Optical and Photoluminescence Properties of Dual-Plasma a-C:H Films

Heitz, T., Godet, C., Bouree, J.E., Drevillon, B., Chu, V., Conde, J.P., Clerc, C.
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Volume:
508
Langue:
english
Journal:
MRS Proceedings
DOI:
10.1557/proc-508-203
Date:
January, 1998
Fichier:
PDF, 451 KB
english, 1998
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