Electrical Properties of Integrated Ta2O5...

MRS Proceedings 1997 / 1 Vol. 500

Electrical Properties of Integrated Ta2O5 Metal-Insulator-Metal Capacitors

Martin, B. C., Basceri, C., Streiffer, S. K., Kingon, A. I.

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Volume:

500

Langue:

english

Journal:

MRS Proceedings

DOI:

10.1557/proc-500-101

Date:

January, 1997

Fichier:

PDF, 1.52 MB

english, 1997

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