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MOCVD of SrBi2Ta2O9 for Integrated Ferroelectric Capacitors

MRS Proceedings 1997 / 1 Vol. 493

MOCVD of SrBi2Ta2O9 for Integrated Ferroelectric Capacitors

Hendrix, Bryan C., Hintermaier, Frank, Desrocherst, Debra A., Roedert, Jeffrey F., Bhandarit, Gautam, Chappuist, Maggie, Baumt, Thomas H., Van Buskirkt, Peter C., Dehm, Christine, Fritsch, Elke, Nagel
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Volume:
493
Langue:
english
Journal:
MRS Proceedings
DOI:
10.1557/proc-493-225
Date:
January, 1997
Fichier:
PDF, 694 KB
english, 1997
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