Application of Elastic Mid-IR-Laser-Light Scattering for...

MRS Proceedings 1995 / 1 Vol. 378

Application of Elastic Mid-IR-Laser-Light Scattering for Non-Destructive Inspection in Microelectronics

Kalinushkin, Victor P., Yuryev, Vladimir A., Astafiev, Oleg V., Buzynin, Alexander N., Bletskan, Nikolay I.
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Volume:
378
Langue:
english
Journal:
MRS Proceedings
DOI:
10.1557/proc-378-615
Date:
January, 1995
Fichier:
PDF, 1.42 MB
english, 1995
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