Hafnium Nitride Dielectric Phase Films Fabricated by...

MRS Proceedings 1993 / 1 Vol. 327

Hafnium Nitride Dielectric Phase Films Fabricated by Ion-Beam Sputtering

Klemm, Karl. A., Johnson, L. F., Kosik, W. E., Mckenzie, D. R., Perez, I., Pontelandolfo, M.
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Volume:
327
Langue:
english
Journal:
MRS Proceedings
DOI:
10.1557/proc-327-97
Date:
January, 1993
Fichier:
PDF, 354 KB
english, 1993
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