Silicon Surface Cleaning for Low Temperature Epitaxial...

MRS Proceedings 1993 / 1 Vol. 315

Silicon Surface Cleaning for Low Temperature Epitaxial Growth

Borland, John O., Riggi, Carol, Brocious, Faye
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Volume:
315
Langue:
english
Journal:
MRS Proceedings
DOI:
10.1557/proc-315-71
Date:
January, 1993
Fichier:
PDF, 942 KB
english, 1993
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