Mechanical Testing of Bonded Silicon on Insulator Wafers.

MRS Proceedings 1991 / 1 Vol. 239

Farrepi, S. N., Roberds, B., Boettcher, M. C., Ismail, M. S., Bower, R. W., Desmond, C. A., Hunt, C. E.

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Volume:

239

Langue:

english

Journal:

MRS Proceedings

DOI:

10.1557/proc-239-287

Date:

January, 1991

Fichier:

PDF, 1.40 MB

english, 1991

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