Sub-angstrom Spatial Resolution in Secondary-electron...

Microscopy and Microanalysis 2010 / 7 Vol. 16; Iss. S2

Sub-angstrom Spatial Resolution in Secondary-electron Imaging Achieved with an Aberration Corrected Scanning Electron Microscope

Inada, H, Su, D, Konno, M, Nakamura, K, Egerton, RF, Wall, J, Zhu, Y
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Volume:
16
Langue:
english
Journal:
Microscopy and Microanalysis
DOI:
10.1017/s1431927610059349
Date:
July, 2010
Fichier:
PDF, 1.19 MB
english, 2010
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