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CrN/TiN/CrN Thin Films Grown by Pulsed DC Sputtering

Microscopy and Microanalysis 2009 / 7 Vol. 15; Iss. S2

CrN/TiN/CrN Thin Films Grown by Pulsed DC Sputtering

González-Escárcega, AD, Ortíz-Palacios, D, Ornelas, C, Solis, O, Esparza-Ponce, HE, Duarte-Moller, JA
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Volume:
15
Langue:
english
Journal:
Microscopy and Microanalysis
DOI:
10.1017/s1431927609098201
Date:
July, 2009
Fichier:
PDF, 767 KB
english, 2009
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