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Improved package reliability of AlGaN/GaN HFETs on 150mm Si...

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Surface and Coatings Technology 2016 / 4

Improved package reliability of AlGaN/GaN HFETs on 150mm Si substrates by SiNx/polyimide dual passivation layers

Oh, Seung Kyu, Jang, Taehoon, Jo, Young Je, Ko, Hwa-Young, Kwak, Joon Seop
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Langue:
english
Journal:
Surface and Coatings Technology
DOI:
10.1016/j.surfcoat.2016.04.046
Date:
April, 2016
Fichier:
PDF, 2.08 MB
english, 2016
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