An Organic Low-k Film Deposited by Plasma-Enhanced...

Journal of The Electrochemical Society 2007 Vol. 154; Iss. 3

An Organic Low-k Film Deposited by Plasma-Enhanced Copolymerization

Kawahara, Jun, Kunimi, Nobutaka, Kinoshita, Keizo, Nakano, Akinori, Komatsu, Masashi, Seino, Yutaka, Kikkawa, Takamaro
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Volume:
154
Année:
2007
Langue:
english
Journal:
Journal of The Electrochemical Society
DOI:
10.1149/1.2422872
Fichier:
PDF, 335 KB
english, 2007
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