Diffusion Barrier Performance of thin Cr Films in...

Physica Scripta 1999 Vol. T79; Iss. 1

Diffusion Barrier Performance of thin Cr Films in the Cu/Cr/Si Structure

Ezer, Y., H?rk?nen, J., Arpiainen, S., Sokolov, V., Kuivalainen, P., Saarilahti, J., Kaitila, J.
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Volume:
T79
Année:
1999
Langue:
english
Journal:
Physica Scripta
DOI:
10.1238/physica.topical.079a00228
Fichier:
PDF, 142 KB
english, 1999
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