[IEEE 2016 IEEE 29th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) - Shanghai, China (2016.1.24-2016.1.28)] 2016 IEEE 29th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) - Low temperature direct bonding of single crystal quartz substrates for high performance optical low pass filter using amorphous SiO2 intermediate layers

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