SPIE Proceedings [SPIE SPIE Microtechnologies - Grenoble,...

  • Main
  • SPIE Proceedings [SPIE SPIE...

SPIE Proceedings [SPIE SPIE Microtechnologies - Grenoble, France (Wednesday 24 April 2013)] Smart Sensors, Actuators, and MEMS VI - MEMS pressure sensor fabricated by advanced bulk micromachining techniques

Vanko, Gabriel, Hudek, Peter, Zehetner, Johann, Dzuba, Jaroslav, Choleva, Pavlina, Vallo, Martin, Rýger, Ivan, Lalinský, Tibor, Schmid, Ulrich, Sánchez de Rojas Aldavero, José Luis, Leester-Schaedel,
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
8763
Année:
2013
Langue:
english
DOI:
10.1117/12.2017499
Fichier:
PDF, 450 KB
english, 2013
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué