Scaling capability improvement of silicon-on-void (SOV)...

Semiconductor Science and Technology 2005 / 02 Vol. 20; Iss. 2

Scaling capability improvement of silicon-on-void (SOV) MOSFET

Tian, Yu, Bu, Weihai, Wu, Dake, An, Xia, Huang, Ru, Wang, Yangyuan
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Volume:
20
Langue:
english
Journal:
Semiconductor Science and Technology
DOI:
10.1088/0268-1242/20/2/002
Date:
February, 2005
Fichier:
PDF, 172 KB
english, 2005
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