[IEEE 2015 IEEE International Conference on Plasma Sciences (ICOPS) - Antalya, Turkey (2015.5.24-2015.5.28)] 2015 IEEE International Conference on Plasma Sciences (ICOPS) - Infrared spectroscopy of CH4/N2 and C2HM/N2 (M=2,4,6) gas mixtures and deposition of nitrogen-containing polymer films in a dielectric barrier discharge

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