High-Aspect-Ratio Metal Microfabrication by Nickel...

Journal of Microelectromechanical Systems 2015 / 10 Vol. 24; Iss. 5

High-Aspect-Ratio Metal Microfabrication by Nickel Electroplating of Patterned Carbon Nanotube Forests

Barrett, Lawrence K., Barton, Dallin J., Noyce, Steven G., Allred, David D., Vanfleet, Richard R., Davis, Robert C.
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Volume:
24
Langue:
english
Journal:
Journal of Microelectromechanical Systems
DOI:
10.1109/jmems.2015.2395954
Date:
October, 2015
Fichier:
PDF, 2.43 MB
english, 2015
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