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Control of Epitaxial Growth of SiGe

IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 2015 / 11 Vol. 28; Iss. 4

Control of Epitaxial Growth of SiGe

van Roijen, Raymond, Steigerwalt, Michael, Bell, Josh D., Harley, Eric, Herbert, Alyssa, Fayaz, Mohammed Fazil, Brodfuehrer, Michael, Mocuta, Anda, Snavely, Colleen
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Volume:
28
Langue:
english
Journal:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
DOI:
10.1109/tsm.2015.2480681
Date:
November, 2015
Fichier:
PDF, 974 KB
english, 2015
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