Improvement of plasma etching durability of positive...

Improvement of plasma etching durability of positive working resist by copolymerization, blending, and crosslinking

Nobuo Ueno, Yasunori Doi, Kazuyuki Sugita, Shigeru Sasaki, Shiro Nagata
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Volume:
34
Année:
1987
Langue:
english
Pages:
15
DOI:
10.1002/app.1987.070340426
Fichier:
PDF, 728 KB
english, 1987
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