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Effect of Pre-heat and Inert Gas Species on Cryogenic...

Particulate Science And Technology 2015 / 09 Vol. 33; Iss. 5

Effect of Pre-heat and Inert Gas Species on Cryogenic Aerosol Cleaning Performance in Semiconductor Manufacturing

Kumari, Sangita, Pillai, Karthikeyan, Sharma, Asha, Mihevc, Ella, Srivastava, Amit, Chan, Albert, Witt, Christian, Scott, Silas
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Volume:
33
Journal:
Particulate Science and Technology
DOI:
10.1080/02726351.2015.1060655
Date:
September, 2015
Fichier:
PDF, 1.65 MB
2015
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