Optimizing hybrid metrology: rigorous implementation of...

Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS 2015 / 11 Vol. 14; Iss. 4

Optimizing hybrid metrology: rigorous implementation of Bayesian and combined regression

Henn, Mark-Alexander, Silver, Richard M., Villarrubia, John S., Zhang, Nien Fan, Zhou, Hui, Barnes, Bryan M., Ming, Bin, Vladár, András E.
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
14
Langue:
english
Journal:
Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS
DOI:
10.1117/1.jmm.14.4.044001
Date:
November, 2015
Fichier:
PDF, 4.64 MB
english, 2015
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué