SPIE Proceedings [SPIE SPIE Advanced Lithography - San...

  • Main
  • SPIE Proceedings [SPIE SPIE Advanced...

SPIE Proceedings [SPIE SPIE Advanced Lithography - San Jose, California, United States (Sunday 22 February 2015)] Advances in Patterning Materials and Processes XXXII - Process variation challenges and resolution in the negative-tone develop double patterning for 20nm and below technology node

Wallow, Thomas I., Hohle, Christoph K., Mehta, Sohan S., Ganta, Lakshmi K., Chauhan, Vikrant, Wu, Yixu, Singh, Sunil, Ann, Chia, Subramany, Lokesh, Higgins, Craig, Erenturk, Burcin, Srivastava, Ravi,
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
9425
Année:
2015
Langue:
english
DOI:
10.1117/12.2087546
Fichier:
PDF, 4.50 MB
english, 2015
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué