A small-gap electrostatic micro-actuator for large...

A small-gap electrostatic micro-actuator for large deflections

Conrad, Holger, Schenk, Harald, Kaiser, Bert, Langa, Sergiu, Gaudet, Matthieu, Schimmanz, Klaus, Stolz, Michael, Lenz, Miriam

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Volume:

Langue:

english

Journal:

Nature Communications

DOI:

10.1038/ncomms10078

Date:

December, 2015

Fichier:

PDF, 677 KB

english, 2015

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