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SPIE Proceedings [SPIE SPIE Advanced Lithography - San Jose, California (Sunday 12 February 2012)] Advanced Etch Technology for Nanopatterning - EUV resist curing technique for LWR reduction and etch selectivity enhancement

Narishige, Kazuki, Katsunuma, Takayuki, Honda, Masanobu, Yatsuda, Koichi, Zhang, Ying
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Volume:
8328
Année:
2012
Langue:
english
DOI:
10.1117/12.916340
Fichier:
PDF, 2.18 MB
english, 2012
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