Influence of ion–atom arrival ratio on structure and...

Materials Letters 2016 / 02 Vol. 164

Influence of ion–atom arrival ratio on structure and optical properties of ZrNx films

Meng, Jian-ping, Fu, Zhi-qiang, Du, Miao, Liu, Xiao-peng, Hao, Lei
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Volume:
164
Langue:
english
Journal:
Materials Letters
DOI:
10.1016/j.matlet.2015.10.037
Date:
February, 2016
Fichier:
PDF, 682 KB
english, 2016
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