A Review of Feedforward Control Approaches in...

Journal of Dynamic Systems Measurement and Control 2009 Vol. 131; Iss. 6

A Review of Feedforward Control Approaches in Nanopositioning for High-Speed SPM

Clayton, Garrett M., Tien, Szuchi, Leang, Kam K., Zou, Qingze, Devasia, Santosh
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Volume:
131
Année:
2009
Langue:
english
Journal:
Journal of Dynamic Systems, Measurement, and Control
DOI:
10.1115/1.4000158
Fichier:
PDF, 749 KB
english, 2009
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