Optimization of deposition rate in HiPIMS by controlling...

Journal of Physics D Applied Physics 2015 / 12 Vol. 48; Iss. 49

Optimization of deposition rate in HiPIMS by controlling the peak target current

Tiron, V, Velicu, I-L, Vasilovici, O, Popa, G
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Volume:
48
Langue:
english
Journal:
Journal of Physics D: Applied Physics
DOI:
10.1088/0022-3727/48/49/495204
Date:
December, 2015
Fichier:
PDF, 965 KB
english, 2015
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