New FET accelerometer based on surface micromachining
J.A. Plaza, M.A. Benitez, J. Esteve, E. Lora-TamayoVolume:
61
Année:
1997
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/s0924-4247(97)80285-3
Fichier:
PDF, 666 KB
english, 1997