Integration of grating-image-type encoder using Si...

Sensors and Actuators A: Physical 2002 Vol. 97-98; Iss. none

Integration of grating-image-type encoder using Si micromachining

K. Hane, T. Endo, M. Ishimori, Y. Ito, M. Sasaki
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Volume:
97-98
Année:
2002
Langue:
english
Pages:
8
DOI:
10.1016/s0924-4247(01)00800-7
Fichier:
PDF, 516 KB
english, 2002
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