Enhanced diffusion of platinum in electron-irradiated silicon
D.C. Schmidt, B.G. Svensson, J.L. Lindström, S. Godey, E. Ntsoenzok, J.F. Barbot, C. BlanchardVolume:
57
Année:
1999
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/s0921-5107(98)00315-8
Fichier:
PDF, 104 KB
english, 1999