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Micro-Raman study of thermoelastic stress distribution in...

Materials Science and Engineering: B 1997 Vol. 46; Iss. 1-3

Micro-Raman study of thermoelastic stress distribution in oxidized silicon membranes and correlation with finite element modeling

Y. Guyot, C. Malhaire, M. Le Berre, B. Champagnon, A. Sibai, E. Bustarret, D. Barbier
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Volume:
46
Année:
1997
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/s0921-5107(96)01925-3
Fichier:
PDF, 500 KB
english, 1997
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