Characterization of defects and whole wafer uniformity of...

Characterization of defects and whole wafer uniformity of annealed undoped semi-insulating InP wafers

Youwen Zhao, Niefeng Sun, Hongwei Dong, Jinghua Jiao, Jianqun Zhao, Tongnian Sun, Lanying Lin
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Volume:
91-92
Année:
2002
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/s0921-5107(01)01061-3
Fichier:
PDF, 180 KB
english, 2002
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