Low-temperature photoluminescence characterization of...

Physica B: Condensed Matter 2001 Vol. 308-310; Iss. none

Low-temperature photoluminescence characterization of defects formation in hydrogen and helium implanted silicon at post-implantation annealing

A.V. Mudryi, F.P. Korshunov, A.I. Patuk, I.A. Shakin, T.P. Larionova, A.G. Ulyashin, R. Job, W.R. Fahrner, V.V. Emtsev, V.Yu. Davydov, G. Oganesyan
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Volume:
308-310
Année:
2001
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/s0921-4526(01)00687-1
Fichier:
PDF, 123 KB
english, 2001
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