Fabrication of 3-Dimensional PbZr1−x TixO3 Nanoscale Thin...

Journal of Nanoscience and Nanotechnology 2006 / 11 Vol. 6; Iss. 11

Fabrication of 3-Dimensional PbZr1−x TixO3 Nanoscale Thin Film Capacitors for High Density Ferroelectric Random Access Memory Devices

Shin, Sangmin, Koo, June-Mo, Kim, Sukpil, Seo, Bum-Seok, Lee, Jung-Hyun, Baik, Hionsuck, Park, Youngsoo, Han, Hee, Baik, Sunggi, Lee, June Key
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Volume:
6
Langue:
english
Journal:
Journal of Nanoscience and Nanotechnology
DOI:
10.1166/jnn.2006.004
Date:
November, 2006
Fichier:
PDF, 3.44 MB
english, 2006
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