Effect of argon ion energy on the performance of silicon...

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Thin Solid Films 2015 / 9

Effect of argon ion energy on the performance of silicon nitride multilayer permeation barriers grown by hot-wire CVD on polymers

Alpuim, P., Majee, S., Cerqueira, M.F., Tondelier, D., Geffroy, B., Bonnassieux, Y., Bourée, J.E.
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Langue:
english
Journal:
Thin Solid Films
DOI:
10.1016/j.tsf.2015.09.048
Date:
September, 2015
Fichier:
PDF, 1.09 MB
english, 2015
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