Formation of a denuded zone in nitrogen-doped Czochralski...

Semiconductor Science and Technology 2005 / 02 Vol. 20; Iss. 2

Formation of a denuded zone in nitrogen-doped Czochralski silicon wafer treated by ramping anneals

Gong, Longfei, Ma, Xiangyang, Tian, Daxi, Fu, Liming, Yang, Deren
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Volume:
20
Langue:
english
Journal:
Semiconductor Science and Technology
DOI:
10.1088/0268-1242/20/2/022
Date:
February, 2005
Fichier:
PDF, 468 KB
english, 2005
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