Improvement of ICP plasma with periodic control of axial...

Surface and Coatings Technology 1999 Vol. 120-121; Iss. none

Improvement of ICP plasma with periodic control of axial magnetic field

Beom-hoam O, Jae-seong Jeong, Se-Geun Park
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Volume:
120-121
Année:
1999
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/s0257-8972(99)00370-9
Fichier:
PDF, 218 KB
english, 1999
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