PIC-MCC simulation of a r.f. planar magnetron discharge and...

Surface and Coatings Technology 1999 Vol. 116-119; Iss. none

PIC-MCC simulation of a r.f. planar magnetron discharge and comparison with experiment

T.M. Minea, J. Bretagne, G. Gousset, L. Magne, D. Pagnon, M. Touzeau
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Volume:
116-119
Année:
1999
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1016/s0257-8972(99)00187-5
Fichier:
PDF, 248 KB
english, 1999
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