Control of structure in magnetron sputtered thin films

Surface and Coatings Technology 2001 Vol. 142-144; Iss. none

Control of structure in magnetron sputtered thin films

H Poláková, M Kubásek, R Cerstvý, J Musil
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Volume:
142-144
Année:
2001
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/s0257-8972(01)01252-x
Fichier:
PDF, 164 KB
english, 2001
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