The smoothness, hardness and stress in titanium nitride...

Surface and Coatings Technology 2001 Vol. 140; Iss. 2

The smoothness, hardness and stress in titanium nitride following argon gas cluster ion beam treatment

Anthony J. Perry, Steve J. Bull, Alex Dommann, Markus Michler, Blake P. Wood, David Rafaja, Jesse N. Matossian
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Volume:
140
Année:
2001
Langue:
english
Pages:
10
DOI:
10.1016/s0257-8972(01)01008-8
Fichier:
PDF, 1.63 MB
english, 2001
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