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Influence of 4H-SiC Growth Conditions on Micropipe...

Japanese Journal of Applied Physics 2002 / 10 Vol. 41; Iss. Part 2, No

Influence of 4H-SiC Growth Conditions on Micropipe Dissociation

Kamata, Isaho, Tsuchida, Hidekazu, Jikimoto, Tamotsu, Izumi, Kunikazu
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Volume:
41
Langue:
english
Journal:
Japanese Journal of Applied Physics
DOI:
10.1143/JJAP.41.L1137
Date:
October, 2002
Fichier:
PDF, 142 KB
english, 2002
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