Thermal actuation of a GaAs cantilever beam

Journal of Micromechanics and Microengineering 2000 / 06 Vol. 10; Iss. 2

Thermal actuation of a GaAs cantilever beam

Lalinský, T, Burian, E, Drzík, M, Hascík, S, Mozolová, Z, Kuzmík, J
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Volume:
10
Langue:
english
Journal:
Journal of Micromechanics and Microengineering
DOI:
10.1088/0960-1317/10/2/332
Date:
June, 2000
Fichier:
PDF, 232 KB
english, 2000
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