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Preparation of Diamond Mold Using Electron Beam Lithography...

Japanese Journal of Applied Physics 2000 / 12 Vol. 39; Iss. Part 1, No

Preparation of Diamond Mold Using Electron Beam Lithography for Application to Nanoimprint Lithography

Taniguchi, Jun, Tokano, Yuji, Miyamoto, Iwao, Komuro, Masanori, Hiroshima, Hiroshi, Kobayashi, Kazuhiko, Miyazaki, Takeshi, Ohyi, Hideyuki
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Volume:
39
Langue:
english
Journal:
Japanese Journal of Applied Physics
DOI:
10.1143/jjap.39.7070
Date:
December, 2000
Fichier:
PDF, 1.29 MB
english, 2000
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