Nanolithography

Semiconductor Science and Technology 1996 / 11 Vol. 11; Iss. 11S

Nanolithography

Ferry, D K, Khoury, M, Pivin, D P, Connolly, K M, Whidden, T K, Kozicki, M N, Allee, D R
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Volume:
11
Langue:
english
Journal:
Semiconductor Science and Technology
DOI:
10.1088/0268-1242/11/11S/017
Date:
November, 1996
Fichier:
PDF, 403 KB
english, 1996
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