Characterization of crystalline–amorphous transition by...

Applied Surface Science 2001 Vol. 184; Iss. 1-4

Characterization of crystalline–amorphous transition by heavy C doping of poly-Si (poly-Si:C)

Y. Yamamoto, O. Fursenko, K. Köpke, J. Bauer, E. Bugiel, D. Krüger, P. Zaumseil, B. Tillack
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Volume:
184
Année:
2001
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/s0169-4332(01)00494-9
Fichier:
PDF, 172 KB
english, 2001
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